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A2KDCS系列直流电源,DPG系列异常放电防止系统

来源:365bet官网体育投注 作者:365bet官方开户网址 时间:09-02 09:13:30 点击:
产品介绍
日本ULVAC制造的直流电源与AL和Ni等直流磁控溅射相结合,结合A2K异常放电防止装置,可将DC电压作为SiN和DLC驱动至反应喷涂工艺CC
中和目标表面电荷。
消除灭弧并确保快速成膜。
它也可以用作偏振电源。
用于已形成的阴极喷涂工艺设备。
可以安装和更换。
以低成本提高产量并保证性能。
DCS,DPG系列型号参数:型号DCS0052BDCS0202BDCS0402BDPG-10DPG-10HDPG-20DPG-20HDPG-30R额定功率500W2KW4KW10KW10KW20KW20KW30KW最大输出电压800V左侧和1000V8001。
25A5A10A25A16。
7A50A33。
3A55A无负载电压-1100V或更高输入电压95至121V单相190至242V单相208V AC左右相同左右AC380V至480V190至242V单相工作温度范围0至40°左右10至40度湿度范围左侧和左侧选项左侧和右侧具有相同的控制器,左右相同0至90%左右0至90%左右0和90%左右相同的控制器。
左侧和最大左侧相同的最大并联功率12个单元(总功率120-240KW)240KW



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